真空系统

摘要

明提供一种真空系统12，该真空系统12包括串联连接之复数个真空腔室14、16、18、20及用于差动泵抽该等腔室之一真空泵抽配置10。该真空泵抽配置包括一主泵22，该主泵22具有经连接用于泵抽一第一真空腔室14的一入口23及用于在大气处或大气周围排气之一出口25；一增压泵24，该增压泵24具有经连接用于泵抽一第二真空腔室16之一入口27及经连接至该主泵之该入口23的一出口29；及一次级泵26、28，该次级泵26、28具有经连接用于泵抽一第三真空腔室18、20之一入口31、33及连接至该增压泵之该入口27的一出口35、37。

主权项

一种真空系统，其包括复数个串联连接之真空腔室及用于差动泵抽该等腔室之一真空泵抽配置，该真空泵抽配置包括：一主泵，该主泵经组态以产生一第一泵抽能力及一第一压缩比，该主泵具有连接至该等真空腔室之一第一者以在一黏性流动压力型态以一第一压力进行泵抽之一入口及用于在大气处或大气周围排气之一出口；一增压泵，该增压泵经组态以产生一第二泵抽能力及一第二压缩比，该增压泵具有连接至该等真空腔室之一第二者以在一黏性流动型态以低于该第一压力之一第二压力进行泵抽的一入口及连接至该主泵之该入口的一出口；及一次级泵，该次级泵具有经连接用于在一分子流动型态泵抽该等真空腔室之一第三者的一入口及连接至该增压泵之该入口的一出口，从而该主泵与该增压泵被串联配置以支援该次级泵，且该第一压缩比高于该第二压缩比，而该第二泵抽能力高于该第一泵抽能力。