一种偏振态控制的多模干涉型光开关及其制备方法

摘要

本发明公开了一种偏振态控制的多模干涉型光开关，包括平面光波光路芯片、光源、偏振控制器和输入光纤阵列，平面光波光路芯片包括硅衬底、二氧化硅缓冲层、波导和覆盖层，二氧化硅缓冲层中设有裂纹，波导包括输入级单模波导，中间级多模波导，输出级单模波导；光源和偏振控制器的光输入端连接，偏振控制器的光输出端与输入光纤阵列的输入端连接。该多模干涉型光开关的开关状态可调，且具有热稳定、低非线性、低传输损耗、宽工作带宽、高度集成、与单模光纤高效耦合、价格便宜且结构简单等优点。同时，本发明还公开该光开关的制备方法，该方法简单、成本低、可批量制作光开关。

主权项

一种偏振态控制的多模干涉型光开关，其特征在于，该光开关包括平面光波光路芯片、光源（7）、偏振控制器（8）和输入光纤阵列（9），平面光波光路芯片包括硅衬底（1）、生长在硅衬底（1）上方的二氧化硅缓冲层（2）、生长在二氧化硅缓冲层（2）上方的波导（4），生长在波导（4）上方的覆盖层（5），二氧化硅缓冲层（2）中设有裂纹（6），波导（4）包括输入级单模波导（401），中间级多模波导（402），n个输出级单模波导（403），n为大于等于2的偶数；光源（7）和偏振控制器（8）的光输入端连接，偏振控制器（8）的光输出端与输入光纤阵列（9）的输入端连接，输入光纤阵列（9）的输出端与输入级单模波导（401）的输入端连接，输入级单模波导（401）的输出端与中间级多模波导（402）的输入端连接，中间级多模波导（402）的输出端与n个输出级单模波导（403）的输入端连接。