真空泵的固定部件

摘要

本发明提供一种真空泵的固定部件和具备该固定部件的真空泵，前述固定部件适用于实现破坏能（由于转子在旋转中破损产生的破坏性的能量）的降低以及泵尺寸的紧凑化。在真空泵（P）中，作为固定部件的间隔件（9）或螺纹槽泵定子（8）在被收纳于泵壳（C）内的状态下，在其外周面与泵壳（C）的内周面之间，形成有满足后述条件的间隙（G1）。条件：2d/D≤ε_max，其中，在前述条件中，D是固定部件（间隔件（9）或螺纹槽泵定子（8））的外径，d是前述间隙的宽度，ε_max是前述固定部件的断裂伸长率。

主权项

一种真空泵的固定部件，是作为真空泵的构成部件被收纳于泵壳内的环状的固定部件，前述真空泵将借助该泵壳内的转子的旋转吸入的气体排出，其特征在于，前述固定部件在被收纳于前述泵壳内的状态下，在该固定部件的外周面与前述泵壳的内周面之间形成有满足下述条件的间隙，条件： 2d/D≤ε_max，其中D为前述固定部件的外径，d为前述间隙的宽度，ε_max为前述固定部件的断裂伸长率。