| 发明名称 | 运动器件的连接部件及其形成方法和运动器件 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种运动器件的连接部件，包括：第一层，所述第一层包括至少一个凹槽；以及第二层，所述第二层包括至少一个凸起，其中，所述第一层和所述第二层键合，其中，所述凸起嵌入所述凹槽中。本发明还提供了一种形成连接部件的方法，包括：提供第一层和第二层；刻蚀所述第一层形成至少一个凹槽；以及键合所述第一层和所述第二层，其中，在键合过程中，所述第二层的材料被高温高压力压入所述第一层的所述凹槽中，从而形成嵌入所述凹槽中的凸起。本发明还提供了一种运动器件。所述连接部件可以有效地降低所述第一层和所述第二层之间形成气隙或空洞的概率，以形成良好的键合结构。进一步地，所述运动器件空腔的气密性可以得到有效地提高。 | ||
| 申请公布号 | CN105575953A | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | CN201511028173.5 | 申请日期 | 2015.12.31 |
| 申请人 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 王俊杰;徐爱斌 |
| 分类号 | H01L25/04(2014.01)I;H01L21/56(2006.01)I;H01L21/52(2006.01)I | 主分类号 | H01L25/04(2014.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 蔡杰赟;吴敏 |
| 主权项 | 一种运动器件的连接部件，其特征在于，包括：第一层，所述第一层包括至少一个凹槽；以及第二层，所述第二层包括至少一个凸起，其中，所述第一层和所述第二层键合，其中，所述凸起嵌入所述凹槽中。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 | ||