一种产生冷等离子体刷的装置及方法

摘要

本发明提供了一种产生冷等离子体刷的装置及方法。本发明中的装置包括供气机构、输气机构、供电机构和电极机构；供气机构用于提供工作用放电气体，输气机构是由绝缘材料制成的狭缝型气道，调节供气机构中的流量计，以使放电气体在狭缝型气道内以层流态流动，由狭缝型气道流出的气体进入开放的放电空间；电极机构包括平行且相对设置的线电极和板电极，线电极位于狭缝型气道内且靠近出气口处，供电机构给线电极提供交流高电压，板电极接地线，即可在两个电极之间形成许多微流光，形成视觉上明亮均匀的等离子体刷。通过本发明中的装置，可在线电极和板电极之间形成冷等离子体刷，且所形成的等离子体刷具有尺度大、温度低、化学活性高等优点。

主权项

一种产生冷等离子体刷的装置，其特征是，包括供气机构、输气机构、供电机构和电极机构；所述供气机构包括供气管路和提供放电气体的储气罐；所述储气罐通过所述供气管路与所述输气机构相接；在所述供气管路上设置有气阀、气压表和流量计；所述输气机构是由绝缘材料制成的狭缝型气道，所述狭缝型气道的横截面为狭缝型结构；所述狭缝型气道的一端为进气口，所述狭缝型气道的另一端为出气口；所述进气口与所述供气管路相接；所述电极机构包括平行且相对设置的线电极和板电极，所述线电极穿过所述输气机构的狭缝型气道内且靠近所述出气口处，所述线电极与所述狭缝型气道的横截面的长边平行；所述供电机构包括高压交流电源，所述高压交流电源的高压输出端与所述线电极电连接，所述高压交流电源的接地端通过所述板电极接地线。