垂直式平板式加热器

摘要

垂直式平板式加热器，包含有一加热板、一第二支撑架、二夹持单元以及复数个压块。该加热板系应用于一大尺寸基板。该二个夹持单元设置于该第二支撑架上，且分别夹持于该加热板之一上端边与一下端边。该复数个压块分别设置于该加热板之复数个端角。各压块系用来抵接在该基板，以调整该加热板与该基板之间的平行度。

主权项

一种垂直式平板式加热器，包含有：一加热板，其系应用于一大尺寸基板；一第一支撑架；一第二支撑架；二夹持单元，设置于该第二支撑架上，且分别夹持于该加热板之一上端边与一下端边；至少一连结构件，连接该相对应夹持单元，且以可活动方式设置于该第一支撑架内；以及复数个压块，分别设置于该加热板之复数个端角，该夹持单元系藉由该第一支撑架与该连结构件沿着一第一方向移动，使得该加热板经由各压块活动地抵接在该基板，以调整该加热板相对该基板的平行度。