主权项 |
一种用于银触媒镀铜反应之化学镀铜液,系包含:一铜离子源,该铜离子源系用以提供铜离子,该铜离子源为硫酸铜、硝酸铜、氯化铜、碳酸铜、酒石酸铜、氢氧化铜或醋酸铜;一还原剂,该还原剂系用以将铜离子还原成金属铜,该还原剂为甲醛、聚甲醛、次磷酸钠、硼氢化钠、硼氢化钾、二甲基胺硼烷或葡萄糖;一螯合剂,该螯合剂系用以与铜离子进行螯合,该螯合剂为乙二胺四乙酸、氨二乙酸、氨三乙酸、N-羟乙基乙二胺三乙酸、酒石酸钾钠、葡萄糖酸钠、三乙醇胺、甘油、四羟丙基乙二氨、羟基-(1,1)-亚乙基二磷酸或氨基三亚甲基磷酸;一加速剂,该加速剂系为具有含氮杂环之化合物,该加速剂为1,10-菲罗啉、联吡啶、2,9-亚甲基-1,10-菲罗啉、三吡啶或4-羟基吡啶;及一溶剂,该溶剂系用以混合该铜离子源、该还原剂、该螯合剂及该加速剂,其中,该铜离子源之浓度为0.01~0.2M、该还原剂之浓度为0.05~0.2M、该螯合剂的浓度为0.05~0.2M及该加速剂之浓度为1×10-6~1×10-5M。
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