化合物、高分子化合物、酸产生剂、光阻组成物、光阻图型之形成方法

摘要

式(1-1)所表示之化合物。

主权项

一种下述通式(1-1)所表示之化合物，

[式中，R1、R3为各自独立之直链状、支链状、或环状之脂肪族烃基；结构中含有环之脂肪族烃基；芳香族烃基；-O-、-C(=O)-O-、-C(=O)-、-O-C(=O)-O-、-C(=O)-NH-、-NH-(H可被烷基或醯基取代)、-S-、-S(=O)2-、-S(=O)2-O-、或「-AR-O(氧原子)-BR-(惟，AR及BR各自独立为可具有取代基之2价烃基)」表示之含有杂原子的2价键结基；或者为前述含有杂原子之2价键结基与直链状、支链状、或环状之脂肪族烃基；结构中含有环之脂肪族烃基；或芳香族烃基的组合，前述烃基中之氢原子的一部份或全部，亦可被氢原子以外之基或原子取代；A为直链状或支链状之脂肪族烃基，n0为0或1；R2、R4为各自独立之羟基、可具有取代基之烃基，或下述通式(1-an1)、(1-an2)或(1-an3)所表示之基，R2、R4之至少任一者为下述通式(1-an1)、(1-an2)或(1-an3)所表示之基，惟，n0为0时，R2、R4当中至少R2为式(1-an1)、(1-an2)或(1-an3)所表示之基]；

[式中，Y1为单键或-SO2-，R5为可被氟原子所取代之碳数1~10之直链状或支链状之1价之烃基、碳数3~20之环状之1价之烃基，或碳数3~20之具有环状之部分结构的1价之烃基；M+为有机阳离子或金属阳离子]。