主权项 |
一种等离子体压力探针,其特征在于,该等离子体压力探针包括金属电极(101)、石英套管(102)、绝缘套管(103)和金属镀膜(104),其中:金属电极(101)采用导电金属制成,固定在绝缘套管(103)中,与连接等离子体激励器的高压线(305)相连接;绝缘套管(103)嵌套在石英套管(102)内表面,采用石英、陶瓷或聚四氟乙烯材料,用于连接和固定石英套管(102)与金属电极(101);石英套管(102)采用纯度至少为99.99%的高纯度透明石英制成,能够耐至少1000℃的高温,同时保护内部的金属电极(101)和绝缘套管(103),所述金属电极(101)和石英套管(102)之间留有环形气体间隙;金属镀膜(104)采用电镀的方式在石英套管(102)的外表面生成厚度为0.03‑0.04mm的镀膜,与等离子体激励器的地线相连接;其中,所述金属电极(101)与所述绝缘套管(103)的连接采用过盈配合或者温度范围为200‑1800℃的高温胶密封粘结;所述绝缘套管(103)与所述石英套管(102)的连接采用过盈配合或者温度范围为200‑1800℃的高温胶密封粘结;所述金属镀膜(104)是采用物理或者化学方法在所述石英套管(102)上沉积一层金属薄膜,该金属薄膜采用铜;所述金属电极(101)、所述金属镀膜(104)、所述高压线与地线的连接采用激光焊接。 |