基板处理装置

摘要

明揭示一种基板处理装置。该基板处理设备包含：一处理腔室，其具有一内部空间，其中容纳从该外界送入的一基板，并且执行与该基板相关的一处理；电热线加热器，其位于该处理腔室的一侧壁内，该电热线加热器环绕该内部空间，将该基板加热；以及一冷却管，其中从该外界供应一冷却剂，该冷却管沿着该处理腔室的该侧壁位于该等电热线加热器之间。

主权项

一种基板处理装置，包含：一处理腔室，其具有一内部空间，其中容纳一基板，并且执行与该基板相关的一处理；电热线加热器，其位于该处理腔室的一侧壁内，该电热线加热器环绕该内部空间，将该基板加热；以及一冷却管，其中从该外界供应一冷却剂，该冷却管沿着该处理腔室的该侧壁位于该等电热线加热器之间，该冷却管具有用于朝向该内部空间注入该冷却剂的复数个注射孔。