前驱物源罐中提供层流之设备与方法

摘要

明揭示用于供应前趋物材料之罐设备。罐设备包括：一容器，其界定适于界定限制前趋物材料的内部体积、一管状构件适于将载气引入容器中，其中管状构件包括：一远端及与远端间隔分开的穿孔部分，该穿孔部分包括复数径向孔、及适于流出前趋物材料与载气的出口。

主权项

一种用于供应一前趋物材料至一制程腔室的设备，其至少包含：一容器，其具有一顶盖置于其上，该容器具有界定一内部体积之一底部与一侧壁，该内部体积在该侧壁之一内部表面、该底部之一内部表面、与该顶盖之一表面之间，该顶盖具有与该内部体积流体连通之一入口及一出口，其中该侧壁包括一外表面，其包含：一第一直径渐变(transitioning)至一延伸凸缘部份，该延伸凸缘部分具有大于该第一直径之一第二直径；及一管状构件，延伸穿越该入口，该管状构件具有位于邻近该底部之该内部表面的一远端，该管状构件具有一上部分，其具有复数孔且以实质垂直该管状构件纵轴之一角度形成穿越于该上部分，配置该等复数孔之各者以容许一载气引入该内部体积。