发明名称 刀轮、使用其之脆性材料基板之划线方法及分割方法、刀轮之制造方法
摘要 供:于分割脆性材料基板时,即使脆性材料基板之板厚较薄之情形,亦能将高精度之划线稳定形成之刀轮、及使用其之脆性材料基板之划线方法。
申请公布号 TWI532694 申请公布日期 2016.05.11
申请号 TW100124017 申请日期 2005.02.02
申请人 三星钻石工业股份有限公司 发明人 前川和哉;阪口良太;三浦善孝
分类号 C03B33/10(2006.01);C03B33/02(2006.01);B28D1/24(2006.01);B24B3/46(2006.01) 主分类号 C03B33/10(2006.01)
代理机构 代理人 桂齐恒;阎启泰
主权项 一种脆性材料基板之划线方法,系藉由将刀轮压接转动于脆性材料基板上,俾在脆性材料基板之表面形成划线;该刀轮,系沿碟状轮之圆周部形成V字形之棱线部作为刀锋,在该棱线部以大致等间隔形成复数个突起;其特征在于:将厚度0.4~0.7mm的脆性材料基板划线时,使用具有如下构成之刀轮来进行,即,刀轮之外径系1.0~2.5mm,该突起系在该棱线部之全周以11.8~27.3μm之间距形成,该突起之高度系0.5~3.0μm,刀锋之角度系85~140°,将切割压力设定为0.03~0.19MPa来进行交叉划线。
地址 日本