保管系统及保管方法

摘要

一种可以更佳的条件来保管晶圆等保管对象物的系统及方法。提供一种可削减惰性气体或乾燥空气之消耗量的系统及方法。本发明之保管系统系具备有：保管容器(4)，其系可以密闭状收纳保管对象物(2)，且具备有：容许气体由内部朝外部移动与气体由外部朝内部移动的控制埠(4a、4b)；真空腔室(Cn)，其系收纳保管容器(4)；排气路径(Rdn)，其系将真空腔室(Cn)与真空减压装置(P、5)相连接；及惰性气体或乾燥空气供给路径(Rpn)，其系连接真空腔室(Cn)与惰性气体或乾燥空气供给手段(7)，具有：将真空腔室(Cn)内保持为真空的真空保管模式；及在保管容器出库时，为了以惰性气体或乾燥空气充满真空腔室(Cn)与保管容器(4)而将相对应的惰性气体或乾燥空气供给路径(Rpn)切换成开放状态的出库准备模式。

主权项

一种保管系统，其特征为具备有：保管容器，其系可以密闭状收纳保管对象物，且具备有：根据内外的压力差而容许气体由内部朝外部移动与气体由外部朝内部移动的气体控制埠；密闭状的真空腔室，其系用以可取出放入的方式收纳前述保管容器；排气路径，其系将前述真空腔室与真空减压装置相连接；及惰性气体或乾燥空气供给路径，其系以开闭自如的方式连接前述真空腔室与惰性气体或乾燥空气供给手段，具有：在将前述惰性气体或乾燥空气供给路径闭锁的状态下，藉由前述真空减压装置将前述真空腔室内保持在预定的真空位准的真空保管模式；及在所被选择的保管容器出库时，为了以惰性气体或乾燥空气充满前述真空腔室与前述保管容器而将相对应的前述惰性气体或乾燥空气供给路径切换成开放状态的出库准备模式。