一种用于蓝宝石长晶炉的氩气隔离系统

摘要

本发明公开了一种用于蓝宝石长晶炉的氩气隔离系统，包括：供气干路、两个供气支路、两个氩气瓶、抽气干路及抽气装置。如此设置，本发明公开的用于蓝宝石长晶炉的氩气隔离系统，其能够有效克服现有技术中氩气隔离系统不能持续供气，而对蓝宝石长晶炉生产效率造成影响的问题。本发明的优选方案中，所述减压阀与所述蓝宝石长晶炉的腔体之间的所述供气干路上沿供气流方向依次设有第一在线式过滤器和第一流量监测控制器。如此设置，本发明提供的优选方案不仅能够通过第一流量监测控制器及时了解氩气的实际流量，且调节氩气流量的精度较高。

主权项

一种用于蓝宝石长晶炉的氩气隔离系统，其特征在于，包括：供气干路，所述供气干路一端与蓝宝石长晶炉的腔体相连接，且所述供气干路设有减压阀；两个供气支路，两个所述供气支路的一端均与所述供气干路的另一端相连接，且两个所述供气支路均设有第一开关阀门和过滤器；两个氩气瓶，两个所述氩气瓶与两个所述供气支路的另一端一一对应连接；抽气干路及抽气装置，所述抽气干路一端与所述蓝宝石长晶炉的腔体相连接，另一端与所述抽气装置相连接；所述减压阀与所述蓝宝石长晶炉的腔体之间的所述供气干路上沿供气流方向依次设有第一在线式过滤器和第一流量监测控制器；所述抽气干路上沿抽气流方向依次设有第二在线式过滤器和第二流量监测控制器；所述供气干路上设有旁通供气管路，所述旁通供气管路一端连接于所述第一在线式过滤器与所述第一流量监测控制器之间，另一端连接于所述第一流量监测控制器与所述蓝宝石长晶炉的腔体之间；所述旁通供气管路设有节流阀和第二开关阀门，位于所述旁通供气管路之间的所述供气干路设有第三开关阀门和第四开关阀门，且所述第一流量监测控制器位于所述第三开关阀门和所述第四开关阀门之间；所述抽气干路上设有旁通抽气管路，所述旁通抽气管路一端连接于所述第二流量监测控制器与所述第二在线式过滤器之间，另一端连接于所述第二流量监测控制器与所述抽气装置之间；所述旁通抽气管路设有第五开关阀门，位于所述旁通抽气管路之间的所述抽气干路上设有第六开关阀门和第七开关阀门，所述第二流量监测控制器位于所述第六开关阀门和所述第七开关阀门之间；还包括连接于所述蓝宝石长晶炉的腔体与所述抽气装置之间的抽空气管路，且所述抽空气管路上设有第八开关阀门。