阵列基板、具有其的液晶显示装置及其制造方法

摘要

本发明公开了一种阵列基板，包括一基板、一层状电极及一开关元件。层状电极设于基板上，包括一导电层及一第一蚀刻阻挡层，导电层覆盖于第一蚀刻阻挡层。开关元件设于基板上且电性连接层状电极，开关元件具有一第二蚀刻阻挡层。本发明实施例的阵列基板的制造方法，不需要过度复杂的工艺方法，使用既有的工艺机台即可以提升层状电极的整体高度，且可以提供较大的水平电场强度，因而可应用在需要较大电场才可以驱动高分子安定化蓝相液晶显示装置中。此外，本发明实施例的液晶显示装置可以在单一阵列基板上形成开关元件、遮光层及间隙调整单元层，因此，仅需要对单一基板进行制造加工，可以简化工艺。

主权项

一种阵列基板，其特征在于，包括：一基板；一层状电极，设于所述基板上，所述层状电极作为一像素电极及/或一共同电极，所述层状电极包括一导电层及一第一蚀刻阻挡层，所述导电层覆盖于所述第一蚀刻阻挡层；以及一开关元件，设于所述基板上，所述开关元件包括：一第一金属层；一氧化层，设于所述第一金属层上；一主动层，设于所述氧化层上；一第二金属层，设置于所述主动层上且电性连接所述层状电极；一第二蚀刻阻挡层，设于所述主动层与所述第二金属层之间，且所述第二蚀刻阻挡层与所述第一蚀刻阻挡层为同层材料。