一种石墨护板装置

摘要

本实用新型公开了一种石墨护板装置，涉及多晶铸锭炉石英坩埚技术领域，石英坩埚为方形结构，其周围设置四个石墨护板，石墨护板与石墨护板通过石墨螺杆连接，石英坩埚的下方设置有石墨底板，其特征在于：所述石墨护板的下方，设置有石墨护板条。本实用新型的有益效果是：在原有的石墨护板下方增加石墨条，从而避免了因石墨护板高度过低导致的石墨护板无法达到工艺要求的石英坩埚覆盖面，致使石英坩埚因高温烘烤导致的坩埚变形，从而造成产品品质的缺陷。避免了为满足工艺的需求，更换现有所有石墨护板，造成严重的浪费及高额生产成本。

主权项

一种石墨护板装置，石英坩埚为方形结构，其周围设置四个石墨护板，石墨护板与石墨护板通过石墨螺杆连接，石英坩埚的下方设置有石墨底板，其特征在于：所述石墨护板的下方，设置有石墨护板条。