多晶矽晶圆

摘要

明系关于一种多晶矽晶圆，其系藉由单向凝固熔解法而制作者，其特征在于：直径为450 mm以上，厚度为900 μm以上，平均结晶粒径为5~50 mm，且以一体成型构成。本发明提供一种大型多晶矽晶圆，其类似于单晶矽晶圆之机械物性者，且晶圆尺寸为450mm以上，结晶尺寸大，表面粗度小，晶圆面之清洁度高，并具有一定之结晶方位而使研磨面之凹凸少，且成为接近单晶矽晶圆之挠曲量。

主权项

一种多晶矽晶圆，系以单向凝固熔解法制作而成，其特征在于：主面方位为(311)面，直径为450mm以上，厚度为900μm以上，平均结晶粒径为5~50mm，且以一体成型构成。