使用辊涂机来形成一薄膜于一基板上的方法

摘要

了具有再循环回路的辊涂机。来自该辊涂机废弃涂层材料在搅拌器单元中处理，该搅拌器单元包含，例如，一或更多的超音波转换器以及随选地一过滤单元及/或温度控制单元，以产生再处理涂层溶液，例如再处理溶胶-凝胶前驱物溶液。也揭露了包含一清洁单元的预防性维护模组，该清洁单元被设计用以啮合并清洁辊涂机中的施料及/或计量辊。

主权项

一种使用辊涂机来形成一薄膜于一基板上的方法，该方法包含：将一涂层流体提供至一由施料辊及计量辊形成的间隙内，其中该涂层流体包含溶胶-凝胶前驱物；形成一涂层流体层于该施料辊上；将该涂层流体层的至少一部分从该施料辊转移至该基板上，藉以将该薄膜形成于该基板上；及在一再循环回路内处理过量的流体，其中在该再循环回路内处理该过量的流体包含将超音波能传授至该过量的流体。