一种实验室用感应等离子处理设备的设计

摘要

本发明专利设计了一种实验室用感应等离子处理设备，由陶瓷支架、感应器、O型橡胶密封圈、圆形底座及石英管组成，其特征是，所述设备可抽真空且侧面带进气孔的大小头敞开式石英管作为反应室，内置于底座和感应器内，管内真空度1.5～3kPa，管侧面进气孔与小头出气孔内径5～6mm，其与底座间通过过盈配合的密封圈密封；底座上表面与石英管进气孔距离15～20mm；感应器由铜质空心管弯制成3～4匝，内径300～500mm，震荡频率2.5～5MHz；支架顶部高出感应器底部5～10mm。本发明专利采用石英管作为反应室，操作便捷，便于观察管内反应情况，可精确测温，节约材料；采用感应器加热，反应速度快，适用于实验室。

主权项

一种实验室用感应等离子处理设备，由陶瓷支架、感应器、O型橡胶密封圈、圆形底座以及侧面带进气孔的大小头敞开式石英管组成，其特征是，所述设备可从上方小头抽真空且侧面带进气孔的大小头敞开式石英管作为反应室，所述陶瓷支架顶部高出感应器底部5～10mm，该石英管内置于圆形底座和感应器内，操作方便，适用于实验室使用。