发明名称 |
一种阵列基板及其制作方法 |
摘要 |
本发明实施例公开了一种阵列基板及其制作方法,涉及液晶显示领域,能够减小信号线的阻值,减小TFT-LCD出现信号延迟现象的可能性。该阵列基板包括基板和位于基板上的信号线,所述信号线包括至少两层位于不同层的导电层,所述不同层的导电层之间设置有绝缘层,所述不同层的导电层之间通过过孔并联连接。该阵列基板的制作方法至少包括:在基板上沉积形成第一导电层和第一绝缘层;对所述第一绝缘层进行刻蚀,形成贯穿所述第一绝缘层的过孔;在所述基板上沉积形成第二导电层,使得所述第一导电层和所述第二导电层通过所述过孔并联连接。 |
申请公布号 |
CN103296033B |
申请公布日期 |
2016.05.11 |
申请号 |
CN201310203861.5 |
申请日期 |
2013.05.28 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
发明人 |
张明;郝昭慧;尹雄宣 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/1368(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 |
代理人 |
申健 |
主权项 |
一种阵列基板,包括基板和位于基板上的信号线,其特征在于,所述信号线包括由下至上依次设置的第一导电层、第一绝缘层、第三导电层、第二绝缘层和第二导电层;所述阵列基板还包括贯穿所述第一绝缘层、所述第三导电层和所述第二绝缘层的过孔,所述第一导电层、所述第三导电层和所述第二导电层通过所述过孔并联连接。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |