| 发明名称 | 质量分析电磁铁 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种质量分析电磁铁，其能抑制在离子束(IB)的质量分离方向以外的位置因离子束(IB)与分析管(9)的壁面碰撞而附着、堆积的堆积物混入目标物(5)中。质量分析电磁铁(2)具备在内侧区域形成离子束(IB)通道的分析管(9)，使离子束(IB)向规定的方向偏转，利用质量的不同分离包含在离子束(IB)中的离子，在与离子束(IB)的前进方向和离子束(IB)的质量分离方向垂直的方向上，分析管(9)具有遮蔽离子束(IB)的端部的至少一个遮蔽构件(SH)。 | ||
| 申请公布号 | CN105575754A | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | CN201510548657.6 | 申请日期 | 2015.08.31 |
| 申请人 | 日新离子机器株式会社 | 发明人 | 立道润一;土肥正二郎;西村一平 |
| 分类号 | H01J49/20(2006.01)I | 主分类号 | H01J49/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 周善来;李雪春 |
| 主权项 | 一种质量分析电磁铁，其具备在内侧区域形成离子束通道的分析管，使所述离子束向规定的方向偏转，利用质量的不同来分离包含在所述离子束中的离子，所述质量分析电磁铁的特征在于，在与所述离子束的前进方向和所述离子束的质量分离方向垂直的方向上，所述分析管具有遮蔽所述离子束的端部的至少一个遮蔽构件。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||