红外线放射装置及其制造方法

摘要

提供一种能防止由于热引起的电极劣化的红外线放射装置及制造方法。红外线放射装置包括基板(11)、绝缘层(12)、发热层(13)、电极(15)、基底部(17)和电导体(16)。基板(11)具有暴露绝缘层(12)的背面的一部分的腔室(110)。腔室(110)的在基板(11)的表面上的开口边缘的垂直投影区域(其投影方向沿着绝缘层(12)的厚度方向)的内侧和外侧上均存在基底部(17)。电导体(16)布置在基底部(17)的表面上。发热层(13)的端部设置成覆盖电导体(16)的覆盖部(18)。电极(15)与覆盖部(18)在垂直投影区域外侧的表面接触。导体(16)具有比电极(15)高的熔点和比基底部(17)和层(13)小的电阻。

主权项

一种红外线放射装置，包括：形成有腔室的基板；电绝缘并且设置在所述基板的表面上的绝缘层，所述绝缘层的在所述绝缘层的表面的相反侧上的背面的一部分由所述腔室暴露；设置在所述绝缘层的表面一侧上的发热层；电极；存在于所述腔室的在所述基板的所述表面上的开口边缘的垂直投影区域的内侧和外侧两者上的基底部，所述垂直投影区域的投影方向沿着所述绝缘层的厚度方向；和设置在所述基底部的表面上的电导体，其中，所述发热层的端部设置成覆盖所述电导体的覆盖部，所述电极接触所述覆盖部的在所述垂直投影区域的外侧的表面，以及所述电导体由熔点比所述电极高的导电材料形成并且具有的电阻比所述基底部和所述发热层的电阻小。