发明名称 一种wafer取片防撞控制系统
摘要 本实用新型提供一种wafer取片防撞控制系统,属于电子封装技术领域。包括:顶针单元,位于wafer盘的下方,用于顶松wafer盘上的芯片;翻转头单元,位于wafer盘的上方,用于从wafer盘上翻取芯片;Wafer单元,用于夹持wafer盘和移动wafer盘,使得wafer盘上的芯片移动至顶针处供顶针顶松芯片;视觉单元,用于采集wafer盘上的芯片图像,并计算芯片中心与视觉中心的偏差;上位机,其连接视觉单元,用于依据芯片中心与视觉中心的偏差生成wafer动作指令;下位机,其连接上位机,用于将wafer动作指令位置与wafer盘运动行程界限比较,在判定没有超出界限情况下执行动作指令。本实用新型有效防止因操作失误或外界干扰等原因撞坏顶针的现象,提高了可靠性。
申请公布号 CN205229696U 申请公布日期 2016.05.11
申请号 CN201521071461.4 申请日期 2015.12.18
申请人 武汉华威科智能技术有限公司 发明人 陈建魁;肖德卫;尹周平
分类号 G05B11/42(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 主分类号 G05B11/42(2006.01)I
代理机构 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 代理人 方放
主权项 一种wafer取片防撞控制系统,其特征在于,包括:顶针单元,位于wafer盘的下方,用于顶松wafer盘上的芯片;翻转头单元,位于wafer盘的上方,用于从wafer盘上翻取芯片;Wafer单元,用于夹持wafer盘和移动wafer盘,使得wafer盘上的芯片移动至顶针处供顶针顶松芯片;视觉单元,用于采集wafer盘上的芯片图像,并计算芯片中心与视觉中心的偏差;上位机,其连接视觉单元,用于依据芯片中心与视觉中心的偏差生成wafer动作指令;下位机,其连接上位机,用于将wafer动作指令位置与wafer盘运动行程界限比较,在判定没有超出界限情况下执行动作指令。
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