发明名称 |
一种wafer取片防撞控制系统 |
摘要 |
本实用新型提供一种wafer取片防撞控制系统,属于电子封装技术领域。包括:顶针单元,位于wafer盘的下方,用于顶松wafer盘上的芯片;翻转头单元,位于wafer盘的上方,用于从wafer盘上翻取芯片;Wafer单元,用于夹持wafer盘和移动wafer盘,使得wafer盘上的芯片移动至顶针处供顶针顶松芯片;视觉单元,用于采集wafer盘上的芯片图像,并计算芯片中心与视觉中心的偏差;上位机,其连接视觉单元,用于依据芯片中心与视觉中心的偏差生成wafer动作指令;下位机,其连接上位机,用于将wafer动作指令位置与wafer盘运动行程界限比较,在判定没有超出界限情况下执行动作指令。本实用新型有效防止因操作失误或外界干扰等原因撞坏顶针的现象,提高了可靠性。 |
申请公布号 |
CN205229696U |
申请公布日期 |
2016.05.11 |
申请号 |
CN201521071461.4 |
申请日期 |
2015.12.18 |
申请人 |
武汉华威科智能技术有限公司 |
发明人 |
陈建魁;肖德卫;尹周平 |
分类号 |
G05B11/42(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
G05B11/42(2006.01)I |
代理机构 |
武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 |
代理人 |
方放 |
主权项 |
一种wafer取片防撞控制系统,其特征在于,包括:顶针单元,位于wafer盘的下方,用于顶松wafer盘上的芯片;翻转头单元,位于wafer盘的上方,用于从wafer盘上翻取芯片;Wafer单元,用于夹持wafer盘和移动wafer盘,使得wafer盘上的芯片移动至顶针处供顶针顶松芯片;视觉单元,用于采集wafer盘上的芯片图像,并计算芯片中心与视觉中心的偏差;上位机,其连接视觉单元,用于依据芯片中心与视觉中心的偏差生成wafer动作指令;下位机,其连接上位机,用于将wafer动作指令位置与wafer盘运动行程界限比较,在判定没有超出界限情况下执行动作指令。 |
地址 |
430074 湖北省武汉市洪山区珞瑜路1037号华中科技大学机械学院 |