平板显示用的空白罩幕与光罩

摘要

构成平板显示器用的空白罩幕的金属层，形成具有背部抗反射层、光屏蔽层、反射衰减层与抗反射层的堆叠结构，使得金属层具有关于用在曝光制程中的i线至g线的曝射光的低反射率偏差(8%或更低)。因此，在转移制程中最小化再反射的曝射光转移到面板，以改善图案的精确度。特别是，改善在重叠曝光区域中的图案精确度。此外，由于根据转移制程的面板的图案精确度提升，因此形成更精细的图案。所以，用于具有更高解析度的平板显示器的空白罩幕和光罩被制造。

主权项

一种空白罩幕，用于平板显示器，所述空白罩幕包括：光屏蔽层和抗反射层，配置在透明基板上；以及反射衰减层，配置在所述光屏蔽层和所述抗反射层之间，且经设置以吸收在曝光制程中反射的反射光，其中，当所述透明基板和所述光屏蔽层之间需要背部抗反射时，背部抗反射层被选择性地提供，其中所述背部抗反射层以及所述抗反射层和所述反射衰减层的堆叠结构中的每一者具有关于具有曝光波长365nm至436nm的曝射光的0.5%至10%的反射率偏差，所述反射率偏差为关于各别曝光光束的反射率之间的差异。