微测热辐射感测器及其制造方法

摘要

明系关于一种微测热辐射感测器(Microbolometer)及其制造方法，其结构中的吸收膜具有类似波浪之非均匀面特征，可增加吸收膜之面积而提高微测热辐射感测器的性能；同时，考量到较佳之吸收膜与反射膜间距为所吸收热辐射波长之四分之一，因此吸收膜之非均匀面特征系控制为面体的高低差1.35~1.65微米，较佳为等于1.5微米，使吸收膜与反射膜间距系控制于1~4微米，较佳为2~3.5微米，以增加对于波长8~14微米之热辐射的吸收率。

主权项

一种微测热辐射感测器，其包含一吸收膜、一电阻膜、一反射膜、一电路以及一基板，该吸收膜系与该电阻膜相连接并位于该反射膜之上，该反射膜系位于具有该电路之该基板之上，其特征在于该吸收膜之两面皆设置有复数个波峰以及复数个波谷而为非均匀面。