真空帮浦

摘要

明揭示一种用于自一处理腔室泵送气体之真空帮浦，该帮浦包括：一转子，其经支撑用于藉一驱动轴而在一泵送腔室中旋转，该轴延伸穿过横向延伸至该驱动轴之该泵送腔室之一壁中之一轴钻孔；及一密封配置，其设于该轴与该横向壁之间以用于抵抗气体通过该轴钻孔，其中在该转子旋转时，气体系自该泵送腔室之一入口处之一低压区域泵送至该泵送腔室之一出口处之一高压区域，且其中该转子及该横向壁系由一轴向空隙隔开，气体之反向泄漏可沿着该轴向空隙自该高压区域流动至该低压区域，且用于反向泄漏之一额外泄漏路径系经形成为隔开远离该密封配置，气体可沿着该额外泄漏路径流动而无需与该密封配置接触使得在该帮浦之使用期间接触该密封配置之气体量减少。

主权项

一种用于自一处理腔室泵送气体之真空帮浦，该帮浦包括：一转子，其藉一驱动轴支撑而在一泵送腔室中旋转，该轴延伸穿过横向延伸至该驱动轴之该泵送腔室之一壁中之一轴钻孔，及一密封配置，其设于该轴与该横向壁之间以用于抵抗气体通过该轴钻孔，其中在该转子旋转时，气体系自该泵送腔室之一入口处之一低压区域被泵送至该泵送腔室之一出口处之一高压区域，且其中该转子及该横向壁系由一轴向空隙隔开，气体之反向泄漏可沿着该轴向空隙自该高压区域流动至该低压区域，且用于反向泄漏之一额外泄漏路径系经形成为隔开远离该密封配置，且该额外泄漏路径提供给接触该密封配置之气体之一流径之一优先流径，气体可沿着该额外泄漏路径流动而无需与该密封配置接触使得在该帮浦之使用期间接触该密封配置之气体量减少。