具有流体分离特性的封闭室

摘要

通过在封闭式处理室内提供磁驱动环状卡盘和至少一个处理流体收集器，且环状卡盘和流体收集器相对于彼此能竖直移动，来自封闭式处理室内的过量处理流体的选择性回收得以实现。

主权项

用于处理晶片状物件的设备，包括封闭式处理室、位于所述封闭式处理室内的环状卡盘、以及穿过所述封闭式处理室的底壁与所述封闭式处理室外面流体连通的至少一个处理流体收集器，其中所述环状卡盘适于在没有物理接触的情况下通过磁轴承驱动，且其中所述环状卡盘和所述至少一个处理流体收集器相对于彼此能竖直移动；其中至少一个处理流体收集器包括能竖直移动的防溅罩；以及其中所述环状卡盘包括后缘，所述后缘定位为：相对于所述环状卡盘的旋转轴成径向向外的向下的角度。