偏心量测量方法

摘要

本发明的偏心量测量方法，该方法测量被一个光学面反射而成像的光源像的第一位置（S2），测量关于另一个光学面的规定的第二位置（S3），根据这些第一和第二的各位置来计算两光学面的相对偏心量（S5）。因此，本发明的偏心量测量方法能够与光学元件的光学面曲率半径无关地用同一测量光学系统来测量偏心量。

主权项

一种偏心量测量方法，其是具有相对的第一光学面和第二光学面的光学元件的偏心量测量方法，其特征在于，具备：第一光源像位置测量工序，其使来自光源的照明光成为平行光并且使所述平行光向所述第一光学面射入，并测量在所述第一光学面上被反射的所述平行光的反射光而成像的所述光源的像的第一位置；第二光源像位置测量工序，其使所述平行光向所述第二光学面射入，并测量在所述第二光学面上被反射的所述平行光的反射光而成像的所述光源的像的第二位置；偏心量计算工序，其根据所述第一位置和所述第二位置来计算所述第一光学面与所述第二光学面的相对偏心量；所述光学元件具备至少具有第一凸缘面的第一凸缘部，该第一凸缘部将所述光学元件的第一光学面和第二光学面中的至少一方的周围包围，所述偏心量测量方法具备把所述第一凸缘面调整成与所述照明光的光轴垂直的第一凸缘面调整工序。