| 发明名称 | 具有太阳能选择性吸收薄膜膜系的制备方法 | ||
| 摘要 | 一种具有太阳能选择性吸收薄膜膜系的制备方法，包括如下步骤：(1)采用氢氟酸和TMAH混合后的复合溶液对金属基片进行喷淋(2)清洗金属基片，后用高压N<sub>2</sub>吹干；(3)采用磁控溅射技术在所述金属基片表面微结构上沉积的TiN高金属填充因子层、TiNxOy低金属填充因子层、TiO2、AlN和SiO<sub>2</sub>组成的减反层，从而得到太阳能选择性吸收膜系。本发明采用氢氟酸和TMAH混合后的复合溶液对金属基片表面进行喷淋处理，获得微结构的金属基片，然后在金属基片上以磁控溅射技术沉积TiN高金属填充因子层、TiNxOy低金属填充因子层、TiO<sub>2</sub>，AlN和Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>减反层，从而得到具有高吸收率、低发射率太阳能选择性吸收膜系，提高了太阳能光热转换的效率。 | ||
| 申请公布号 | CN105568238A | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | CN201511020165.6 | 申请日期 | 2015.12.30 |
| 申请人 | 中国建材国际工程集团有限公司 | 发明人 | 彭寿;杨勇;王芸;徐根保;李刚;曹欣;姚婷婷;蒋继文;张宽翔;金克武 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;F24J2/48(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人 | 王法男 |
| 主权项 | 一种具有太阳能选择性吸收薄膜膜系的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)采用氢氟酸和TMAH混合后的复合溶液对金属基片进行喷淋；(2)清洗金属基片，后用高压N2吹干；并且(3)采用磁控溅射技术在所述金属基片表面微结构上沉积的TiN高金属填充因子层、TiNxOy低金属填充因子层、TiO<sub>2</sub>、AlN和SiO<sub>2</sub>组成的减反层，从而得到太阳能选择性吸收膜系。 | ||
| 地址 | 200061 上海市普陀区中山北路2000号中期大厦27层 | ||