发明名称 一种铜锌锡硫硒(CZTSSe)薄膜的制备工艺
摘要 一种铜锌锡硫硒(CZTSSe)薄膜的制备工艺。本发明薄膜在500℃的硒化退火温度下能够形成具有单一锌黄锡矿结构、结晶程度较好的薄膜;而且具有贫铜的成分,随着温度的升高,Se元素含量增加最后趋于平稳,而S元素含量先减少后有增加趋势。本发明具体包括如下步骤:(1)先在反应容器中充入一定的惰性气体,使反应容器保持一定的气压,然后开始升温;(2)在280℃下反应1h,之后经离心洗涤,将纳米颗粒从反应溶液中分离出来,在惰性环境下,烘干,分别得到两种不同条件下的纳米颗粒;(3)将制得的CZTS纳米晶粒溶于一定量的己硫醇中制成纳米浆溶液,采用滴涂的方法在钠钙玻璃衬底上制得CZTS薄膜,并进行硒化退火处理得到CZTSSe薄膜。
申请公布号 CN105576076A 申请公布日期 2016.05.11
申请号 CN201410618905.5 申请日期 2014.11.06
申请人 陈玉梅 发明人 陈玉梅
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种铜锌锡硫硒(CZTSSe)薄膜的制备工艺,其特征在于包括如下步骤:(1)先在反应容器中充入一定的惰性气体,使反应容器保持一定的气压,然后开始升温;(2)在280℃下反应1h,之后经离心洗涤,将纳米颗粒从反应溶液中分离出来,在惰性环境下,烘干,分别得到两种不同条件下的纳米颗粒;(3)将制得的CZTS纳米晶粒溶于一定量的己硫醇中制成纳米浆溶液,采用滴涂的方法在钠钙玻璃衬底上制得CZTS薄膜,并进行硒化退火处理得到CZTSSe薄膜。
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