固体摄像元件

摘要

本发明在固体摄像元件中，防止邻接光电转换元件间的光电荷混同，且实现微细化。固体摄像元件具备多个像素(103)。包括第1导电型的第1半导体层(105)，第1导电型的第2半导体层(107)，第2导电型半导体区域(111)，绝缘分离邻接像素(103)的深槽(123)，嵌入深槽(123)内的电极(127)。从表面侧按照第2导电型半导体区域(111)、第2半导体层(107)、第1半导体层(105)顺序排列。由深槽(123)按各像素(103)分离第2半导体层(107)。第1半导体层(105)的第1导电型的杂质浓度比第2半导体层(107)的第1导电型的杂质浓度高。深槽(123)与第1半导体层(105)相接。

主权项

一种具备多个像素的固体摄像元件，其特征在于：上述固体摄像元件包括：第1导电型的第1半导体层；第1导电型的第2半导体层，邻接在上述第1半导体层上配置；第2导电型半导体区域，配置于上述第2半导体层内；深槽，绝缘分离邻接的上述像素；以及电极，嵌入上述深槽内；从表面侧按照上述第2导电型半导体区域、上述第2半导体层、上述第1半导体层的顺序排列；由上述深槽按上述每个像素分离上述第2半导体层；上述第1半导体层的第1导电型的杂质浓度比上述第2半导体层的第1导电型的杂质浓度高；上述深槽与上述第1半导体层相接。