| 发明名称 | 一种提高多晶硅电池PECVD工序产能的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种提高多晶硅电池PECVD工序产能的方法，通过优化镀膜的工艺参数，增加氮化硅膜沉积速率，提高了PECVD工序的产能。 | ||
| 申请公布号 | CN105576082A | 申请公布日期 | 2016.05.11 |
| 申请号 | CN201610116142.3 | 申请日期 | 2016.03.02 |
| 申请人 | 江西展宇新能源股份有限公司 | 发明人 | 陈园;杨晓琴;曹黔晋;黄明;曹江伟;曹雪 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/068(2012.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C23C16/505(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 江西省专利事务所 36100 | 代理人 | 杨志宇 |
| 主权项 | 一种提高多晶硅电池PECVD工序产能的方法，其特征为：包括沉积在硅基衬底上包含两层氮化硅膜。 | ||
| 地址 | 334100 江西省上饶市经济开发区金光大道8号 | ||