发明名称 sistema de bobina parcial para simulação de bobinas circulares para dispositivos a vácuo
摘要 patente de invenção: sistema de bobina parcial para simulação de bobinas circulares para dispositivos a vácuo. a presente invenção refere-se a uma câmara de tratatamento a vácuo com disposição de bobina para estabelecimento de um campo magnético na câmara, compreendendo a disposição de bobina ao menos uma primeira bobina parcial e uma segunda bobinal parcial, sendo que a primeira bobina parcial e a segunda bobina parcial ficam de tal maneira lado a lado em seção transversal, de preferêncial em um plano, que ao menos respectivamente um segmento parcial da primeira bobina acompanha essencialmente o curso de um segmento parcial da segunda bobina, sendo a distância do primeiro segmento parcial do segundo segmento parcial ao menos uma ordem de grandeza menor do que a seção transversal da eventualmente menor bobina parcial.
申请公布号 BR112012012002(A2) 申请公布日期 2016.05.10
申请号 BR20121112002 申请日期 2010.10.05
申请人 OERLIKON TRADING AG, TRÜBBACH 发明人 SIEGFRIED KRASSNITZER
分类号 H01J37/32;H01L21/00 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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