기판을 평탄화하기 위한 방법 및 장치가 제공된다. 기판을 단단히 지지하기 위한 향상된 커버를 구비한 기판 캐리어 헤드가 제공된다. 이러한 커버는 그것 내로 피팅되는 리세스보다 큰 비드를 가질 수 있어서, 압축이 리세스 내부에서 컨포멀 밀봉을 형성한다. 또한, 헤드는 그루브의 표면에 대한 비드의 부착을 향상시키도록 코팅되지 아니한 채로 남겨질 수 있다. 커버의 표면은 비교착(non-stick) 코팅을 이용하지 아니하면서 커버에 대한 기판의 부착을 감소시키도록 거칠어질 수 있다.
