RADIATION SOURCE LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

摘要

리소그래피 장치(1)는 컬렉터(CO) 및 방사선 소스(105)를 포함하는 소스 모듈(SO) - 상기 컬렉터(CO)는 상기 방사선 소스(105)로부터 방사선을 수집하도록 구성됨 - ; 상기 컬렉터(CO)에 의해 수집된 상기 방사선을 컨디셔닝하고, 방사선 빔을 제공하도록 구성된 일루미네이터(IL); 및 상기 일루미네이터(IL)에 대해 고정된 위치 관계에 배치된 검출기(301) - 상기 검출기(301)는 상기 컬렉터(CO)에 대한 상기 방사선 소스(105)의 위치 및 상기 일루미네이터(IL)에 대한 상기 소스 모듈(SO)의 위치를 결정하도록 구성됨 - 를 포함한다.