| 摘要 |
본 발명은 탄소복합소재를 이용한 프로브 카드의 보강판(stiffener) 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기존 프로브 카드(Probe Card)의 보강판(stiffener)의 고비중 난절삭 소재인 인바(Invar)나 노비나이트(Nobinate), 스테인리스(Stainless)를 대체할 수 있는 탄소복합소재를 개발함으로써 경량화를 통한 작업성 향상 및 가공성을 개선함과 동시에 우수한 탄성율을 가지며 특히, 요구되는 열적 변형으로서 휨 변형량을 만족시키는 탄소복합소재를 이용한 프로브 카드의 보강판(stiffener) 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 탄소복합소재를 이용한 프로브 카드의 보강판(stiffener) 제조방법은 탄소섬유 45 ~ 55 중량부에 바인더 수지 20 ~ 30 중량부와, 세라믹 또는 산화칼슘, 산화알루미늄, 산화마그네슘 중에서 하나 또는 둘 이상으로 구성된 비철금속 파우더 10 ~ 25 중량부, 충전제(filler) 0.1 ~ 5 중량부의 혼합물을 함침하고, 프리프레그(Prepreg)의 형태로 제조하는 단계; 상기 프리프레그(Prepreg)를 적층하여 탄소복합소재를 제조하는 단계; 및 상기 탄소복합소재를 프로브 카드(Probe Card)의 보강판(stiffener)의 구성요소별로 마련된 금형에 투입하여 가압 성형하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
