補助窓シール付き研磨パッド

摘要

研磨物が研磨面と、第１の区域および第２の区域を含む開口とを有する。研磨物は、開口の中に内向きに延びる突起を含む。研磨物は、研磨面から遠い第１の面の側に下方部分を含む。窓が、開口の第１の区域に配置された第１の部分、および開口の第２の区域の中に延びる第２の部分を有する。窓は、研磨面と実質的に平行な第２の面を有する。第１の接着剤が、突起の第１の面を窓の第２の面に接着して、窓を突起と、第１の接着剤と異なる材料組成の第２の接着剤とに固定する。第２の接着剤は、窓の第２の部分と研磨物の下方部分との間に横方向に配置される。