发明名称 Halbleitervorrichtung mit FinFET-Zellen vom Anreicherungs- und Verarmungstyp
摘要 Eine Halbleitervorrichtung (500) weist FinFET-Zellen vom Anreicherungs- und Verarmungstyp (TE, TD) auf. Die FinFET-Zellen vom Anreicherungstyp (TE) weisen erste Halbleiterfinnen (160a) trennende erste Gatestrukturen (150a) auf. Die FinFET-Zellen vom Verarmungstyp (TD) weisen zweite Halbleiterfinnen (160b) trennende zweite Gatestrukturen (150b) auf. Zwischen den ersten und zweiten Gatestrukturen (150a, 150b) trennt eine Verbindungsstruktur (180) die ersten Halbleiterfinnen (160a) von den zweiten Halbleiterfinnen (160b). Die Verbindungsstruktur (180) weist einen spezifischen Leitwert auf, der größer ist als ein spezifischer Leitwert in den zweiten Halbleiterfinnen (160b).
申请公布号 DE102015117862(A1) 申请公布日期 2016.05.04
申请号 DE201510117862 申请日期 2015.10.20
申请人 Infineon Technologies Dresden GmbH 发明人 Weis, Rolf
分类号 H01L29/78;H01L27/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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