一种90度自偏置自旋阀传感单元

摘要

本发明提供一种90度自偏置自旋阀传感单元，属于磁性材料与元器件技术领域的磁传感技。本发明包括基片，所述基片上自下而上依次设有自由层、隔离层、被钉扎层和钉扎层，其特征在于：所述自由层为自下而上依次设置的第一反磁铁层、第一铁磁层、第二反铁磁层、第一金属层、第二铁磁层、第二金属层和第三铁磁层组成。本发明能够在不设置附加偏置结构、附加工艺处理的情况下实现自由层与钉扎层磁矩在无外磁场时呈90度取向，降低自旋阀传感单元的制造难度；本发明的90度自偏置自旋阀传感单元的磁阻线对外磁场的变化呈线性响应，线性响应的磁阻曲线无磁滞，满足对自旋阀传感单元的要求。

主权项

一种90度自偏置自旋阀传感单元，包括基片，所述基片上自下而上依次设有自由层、隔离层、被钉扎层和钉扎层，其特征在于：所述自由层为自下而上依次设置的第一反铁磁层、第一铁磁层、第二反铁磁层、第一金属层、第二铁磁层、第二金属层和第三铁磁层组成。