基于石墨烯-硫系玻璃微环谐振腔的中红外电光调制器

摘要

本发明公开了基于石墨烯-硫系玻璃微环谐振腔的中红外电光调制器，包括基底层，直光波导和微环谐振腔波导都埋入基底层，微环谐振腔波导的一段上表面铺设有第一石墨烯层、第二石墨烯层，第一石墨烯层和第二石墨烯层间铺设有隔离层，并分别从微环谐振腔波导两侧延伸出来分别连接第一电极和第二电极。本发明直光波导和微环谐振腔波导采用硫系玻璃作为波导材料，硫系玻璃具有良好的非晶态特性和热稳定性，且对中红外光谱具有较宽且平坦的透过窗口；通过外加偏置电压调谐石墨烯对光的吸收来调控直光波导与微环谐振腔波导之间的光耦合，实现对中红外光信号的调制。本发明且具有较高的调制深度、高调制速率、且与CMOS工艺兼容的优点。

主权项

基于石墨烯‑硫系玻璃微环谐振腔的中红外电光调制器，其特征在于：基底（1），埋设在基底（1）上的直光波导（2）和微环谐振腔波导（3），在微环谐振腔波导（3）任一段的上表面上从下至上依次铺设有第一石墨烯层（41）、隔离层（43）、第二石墨烯层（42），第一石墨烯层（41）通过第一电极（44）引出，第二石墨烯层（42）通过第二电极（45）引出。