一种二维微动平台装置

摘要

本发明公开了一种二维微动平台的装置，包括电磁驱动部分、笼式结构部分和基座。电磁驱动部分，包括线圈及其固定部件：线圈骨架和支撑架，和磁钢及其固定部件：方板。笼式结构部分，包括48根弹性钢丝、底座和平台，底座上表面与平台下表面均打孔与弹性钢丝配合并紧固。固定磁钢的方板用螺栓紧固在平台上；线圈及其固定部件、磁钢及其固定部件均为四套，对称的放置于笼式结构的前后左右。笼式结构部分的底座和电磁驱动部分的支撑架都固定在基座上。应用本发明，可以实现平台在平面任意方向上的无摩擦的微运动，平台上安装的样片与固定的触头之间可模拟界面间的二维往复运动轨迹，从而更有效的研究电接触中的平面微动过程。

主权项

一种二维微动平台装置，其特征在于，平台可以实现在平面任意方向上的无摩擦微运动，该装置包括：电磁驱动部分、笼式结构部分和基座，其中，电磁驱动部分，包括：产生磁力的线圈及其固定部件和受磁力的磁钢及其固定部件，线圈通电后产生的磁场对经磁化后的磁钢产生吸引或排斥力，使磁钢沿线圈的轴线方向运动，磁钢带动方板，进而带动平台运动；笼式结构部分，包括：平台、底座和48根弹性钢丝，平台上方用于安装样片，平台下表面与底座上表面均打孔与弹性钢丝配合并紧固。