微阵列型复杂曲面光学元件的复合测量系统与测量方法

摘要

一种微阵列型复杂曲面光学元件的复合测量系统与测量方法，有由光学显微干涉系统、数字CCD摄像机和图像采集卡依次连接构成的白光干涉微结构测试系统，固定在白光干涉微结构测试系统上的自感应音叉式原子力显微测头，位于自感应音叉式原子力显微测头下方的用于放置被测样品的扫描及位移平台，分别与扫描及位移平台电连接的纳米测量机控制器和压电陶瓷控制器，白光干涉微结构测试系统的输出端电连接PC机，自感应音叉式原子力显微测头的输出端通过高速数字信号处理伺服反馈控制系统电连接PC机，压电陶瓷控制器的输出端还电连接纳米测量机控制器，压电陶瓷控制器的输入端通过高速数字信号处理伺服反馈控制系统电连接PC机。本发明实现了多信息传感和数据融合。

主权项

一种微阵列型复杂曲面光学元件的复合测量系统，包括有由光学显微干涉系统（31）、数字CCD摄像机（32）和图像采集卡（33）依次连接构成的白光干涉微结构测试系统（3），其特征在于，还设置有固定在所述的白光干涉微结构测试系统（3）上的自感应音叉式原子力显微测头（1），位于自感应音叉式原子力显微测头（1）下方的用于放置被测样品的扫描及位移平台（5），分别与所述的扫描及位移平台（5）电连接的纳米测量机控制器（4）和压电陶瓷控制器（6），其中，所述的白光干涉微结构测试系统（3）的输出端电连接PC机（7），所述的自感应音叉式原子力显微测头（1）的输出端通过高速数字信号处理伺服反馈控制系统（2）电连接PC机（7），所述的压电陶瓷控制器（6）的输出端还电连接纳米测量机控制器（4），压电陶瓷控制器（6）的输入端通过高速数字信号处理伺服反馈控制系统（2）电连接PC机（7），所述的自感应音叉式原子力显微测头（1）包括有探针（11）、用于调整探针（11）位置的位置调整机构（12）和用于控制探针（11）工作的音叉探针控制器（13），其中，所述的位置调整机构（12）固定在所述的自感应音叉式原子力显微测头（1）中的光学显微干涉系统（31）上，所述的探针（11）位于所述白光干涉微结构测试系统（3）的镜头下方，同时还位于被测样品的上方，所述的音叉探针控制器（13）输出端通过高速数字信号处理伺服反馈控制系统（2）电连接PC机（7）。