发明名称 一种极微细键合混合合金丝及其制作方法
摘要 本发明涉及一种极微细键合混合合金丝,该混合合金丝的成分包括高纯银Ag、高纯金Au、高纯钯Pd、高纯铂Pt和高纯铑Rh;其中:以高纯银Ag为主量,以高纯金Au、高纯钯Pd、高纯铂Pt及高纯铑Rh为次量;或者以高纯金Au为主量,以高纯银Ag、高纯钯Pd、高纯铂Pt及高纯铑Rh为次量;且所述主量的质量百分含量为50%~90%,次量总的质量百分含量为10%~50%;本发明还涉及该种键合混合合金丝的制作方法;本发明的有益效果是:该种混合合金丝具有更好的机械性能、导电散热性能和键合性能,利于微细拉拔和窄间距、长距离键合;其可避免银合金线极易氧化和硫化的缺点,在键合过程中无需加氮气等惰性气体保护,偏球或滑球的概率也大大降低,耐冷热冲击次数更高。
申请公布号 CN105543532A 申请公布日期 2016.05.04
申请号 CN201610092089.8 申请日期 2016.02.18
申请人 安徽华晶微电子材料科技有限公司 发明人 程平;李明;郑东风
分类号 C22C5/06(2006.01)I;C22C5/02(2006.01)I;C22C1/02(2006.01)I;C22F1/14(2006.01)I 主分类号 C22C5/06(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种极微细键合混合合金丝,其特征在于:该混合合金丝以高纯银Ag为主量,添加次量高纯金Au、高纯钯Pd、高纯铂Pt及高纯铑Rh;或者以高纯金Au为主量,添加次量高纯银Ag、高纯钯Pd、高纯铂Pt及高纯铑Rh元素,混合熔铸拉拔而成的极微细混合合金丝线。
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