一种提高太阳电池扩散均匀性的装置及其方法

摘要

本发明公开了一种提高太阳电池扩散均匀性的装置及其方法，它包括：进气管、排气管、流量监控表和开孔，所述的进气管位于石英舟的下方，进气管的两端分别为开口端和封闭端，进气管的开口端上设有流量监控表，进气管上设有的开孔面对扩散石英管的底部，进气管的封闭端置于扩散石英管内，排气管位于硅片的上方，提高石英管内气体氛围的均匀性，提高了电池片片间及片内扩散均匀性。使得后续工艺参数可控性高，可以较好的保证电池性能和参数的稳定性。盖方法提高石英管内气体氛围的均匀性，提高了电池片片间及片内扩散均匀性。使得后续工艺参数可控性高，可以较好的保证电池性能和参数的稳定性。

主权项

一种提高太阳电池扩散均匀性的装置，它包括：扩散石英管（1）、位于扩散石英管（1）一侧的炉门（2）、固设于扩散石英管（1）内的石英舟（3）、置于石英舟（3）上的硅片（4）和套设在扩散石英管（1）外侧的保温棉（5），其特征在于：它还包括：进气管（6）、排气管（7）、流量监控表（8）和开孔（9），所述的进气管（6）位于石英舟（3）的下方，进气管（6）的两端分别为开口端（61）和封闭端（62），进气管（6）的开口端（61）上设有流量监控表（8），进气管（6）上设有的开孔（9）面对扩散石英管（1）的底部，进气管（6）的封闭端（62）置于扩散石英管（1）内，排气管（7）位于硅片（4）的上方。