使用线性累加的x射线源

摘要

本申请公开了一种用于高亮度x射线产生的小型源。通过用电子束轰击彼此对准的多个区域以实现x射线线性累加从而实现更高亮度。这通过对准离散x射线发射器或者通过使用新颖的x射线靶来实现，这种新颖的x射线靶包括x射线产生材料的多个微结构，这些微结构被制成与具有高热导率的基板成密切热接触。这允许从x射线产生材料更高效地抽出热并且允许以更高的电子密度和/或更高能电子轰击这种材料，得到更大x射线亮度。微结构的定向允许使用轴上收集，允许来自多个对准的微结构的x射线累加，看起来似乎具有单个原点，也被称作“零角度”x射线发射。

主权项

一种x射线源，包括：真空腔室；对于x射线透明的窗口，其附连到所述真空腔室的壁上；以及，在所述真空腔室内，至少一个电子束发射器；以及至少一个靶，所述靶包括：基板，其包括第一选定材料；以及多个离散结构，其包括根据其x射线产生特性选择的第二材料；其中所述多个离散结构中每一个与所述基板成热接触；以及其中所述离散结构中至少一个具有小于10微米的厚度；以及所述离散结构中所述至少一个的每个横向尺寸小于50微米。