微机械固支梁式十六状态可重构微波带通滤波器

摘要

本发明的微机械固支梁式十六状态可重构微波带通滤波器通过两个并联连接到CPW信号线和地线之间的MIM电容以及两个串联连接到CPW信号线的MIM电容依次对称放置在一个平面螺旋电感的左右两侧，从而构成该滤波器的带通特性；将四个由引线连接的MIM电容对称放置在平面螺旋电感的左右两侧且位于两个并联连接到CPW信号线和地线之间的MIM电容之间；每个由引线连接的MIM电容具有不同的电容值；通过四个MEMS固支梁分别控制四个由引线连接的MIM电容是否与CPW地线相连接，从而利用一个较小电感量的平面螺旋电感和几个较小电容值的MIM电容实现该可重构微波带通滤波器具有十六状态的中心频率和带宽的变化，突破了传统可重构微波带通滤波器的电感和电容数量多且其值较大的限制。

主权项

一种微机械固支梁式十六状态可重构微波带通滤波器，其特征在于：在砷化镓衬底(19)上设有水平放置的CPW(1)、一个平面螺旋电感(2)、两个并联连接到CPW信号线和地线之间的第一MIM电容(3)和第二MIM电容(4)、两个串联连接到CPW信号线的第三MIM电容(5)和第四MIM电容(6)、四个由引线连接的第五MIM电容(7)、第六MIM电容(8)、第七MIM电容(9)和第八MIM电容(10)、引线(12)、凸点(13)、MEMS固支梁(14)、驱动电极(15)、连接线(16)、压焊块(17)以及空气桥(18)；CPW(1)的中间为CPW信号线，CPW信号线的两侧为CPW地线，两个并联连接到CPW信号线和地线之间的第一MIM电容(3)和第二MIM电容(4)以及两个串联连接到CPW信号线的第三MIM电容(5)和第四MIM电容(6)依次对称放置在平面螺旋电感(2)的左右两侧，构成π型的微波带通滤波器；四个由引线连接的第五MIM电容(7)、第六MIM电容(8)、第七MIM电容(9)和第八MIM电容(10)对称放置在平面螺旋电感(2)的左右两侧且位于两个并联连接到CPW信号线和地线之间的第一MIM电容(3)和第二MIM电容(4)之间，同时在平面螺旋电感(2)的左右两侧的任意一侧的两个由引线连接的第五MIM电容(7)和第七MIM电容(9)，或第六MIM电容(8)和第八MIM电容(10)沿CPW信号线的前后两侧对称放置；每个由引线连接的MIM电容是由一条引线(12)串联连接的，其中每条引线(12)的一端与CPW信号线相连接，而另一端靠近CPW地线且在其末端上制作一个凸点(13)；在每条引线(12)末端的凸点(13)上方横跨了一个MEMS固支梁(14)，在每个MEMS固支梁(14)下方引线(12)的两侧分别放置一个驱动电极(15)；在每个MEMS固支梁(14)下方的两个驱动电极相互连接并通过一条连接线(16)与CPW地线外侧的压焊块(17)相连接；从而通过利用一个π型的微波带通滤波器以及四个MEMS固支梁(14)分别控制四个由引线连接的第五MIM电容(7)、第六MIM电容(8)、第七MIM电容(9)和第八MIM电容(10)是否与CPW地线相连接，实现了该可重构微波带通滤波器的十六状态的中心频率和带宽的改变；所述的第五MIM电容(7)、第六MIM电容(8)、第七MIM电容(9)和第八MIM电容(10)分别具有不同的电容值。