一种混合励磁磁悬浮进给平台

摘要

本发明公开了一种混合励磁磁悬浮进给平台，其包括悬浮工作台、V型导轨、两个直线电动机。其中，悬浮工作台为与V型导轨结构相匹配的框架结构，悬浮工作台与V型导轨关于一中心轴线对称；两个直线电动机安装在悬浮工作台及V型导轨上，且关于所述中心轴线对称。每一直线电动机包括动子铁心和定子铁心，所述动子铁心与悬浮工作台连接；所述定子铁心安装在V型导轨上。本发明通过实现了磁悬浮平台无需附加任何电磁铁的简单结构，减少了实现悬浮的功耗，节约了成本，同时降低了装置的复杂性，且能够提高悬浮稳定性和定位精度。

主权项

一种混合励磁磁悬浮进给平台，其特征在于，其包括悬浮工作台(3)、V型导轨(4)、两个直线电动机，其中，所述悬浮工作台为与所述V型导轨结构相匹配的框架结构，所述悬浮工作台与所述V型导轨两者都是关于一中心轴线对称的结构；两个直线电动机安装在所述悬浮工作台及所述V型导轨上，且关于所述中心轴线对称；每一直线电动机均包括动子铁心(1)和定子铁心(2)；所述V型导轨包括由完全中心对称的两个斜面形成的底面(43)，所述悬浮工作台包括与所述V型导轨的底面相对且保持适当距离平行设置的悬臂(33)；所述动子铁心(1)安装在所述悬浮工作台(3)的悬臂(33)上，其内部设置有电枢绕组(5)；所述定子铁心(2)安装在所述V型导轨的底面上，其内部设置有励磁绕组(7)；所述定子铁心表面设置有永磁体(6)；所述混合励磁磁悬浮进给平台还包括第一方向电涡流传感器(8)、光栅传感器(9)、第二方向电涡流传感器(10)，第一方向电涡流传感器和第二方向电涡流传感器设置在所述悬浮工作台上，光栅传感器设置在所述V型导轨上；所述混合励磁磁悬浮进给平台还包括控制系统，所述励磁绕组、电枢绕组、第一方向电涡流传感器、第二方向电涡流传感器及光栅传感器连接至所述控制系统，并通过解耦控制算法，以实现x、y、z方向运动的完全解耦控制。