| 发明名称 | 研磨用组合物 | ||
| 摘要 | 本申请发明为如下的技术方案：一种研磨用组合物，其含有：在表面固定化有满足下述条件(1)和(2)的至少一者的官能团而得到的二氧化硅、以及pH调节剂，条件(1)：前述官能团具有氨基；条件(2)：前述官能团具有卤素基团，本申请发明的研磨用组合物能够充分控制含Si材料的研磨速率。 | ||
| 申请公布号 | CN105555901A | 申请公布日期 | 2016.05.04 |
| 申请号 | CN201480051678.0 | 申请日期 | 2014.08.11 |
| 申请人 | 福吉米株式会社 | 发明人 | 铃木章太;井泽由裕 |
| 分类号 | C09K3/14(2006.01)I;B24B37/00(2012.01)I;C09G1/02(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | C09K3/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种研磨用组合物，其含有：在表面固定化有满足下述条件(1)和(2)的至少一者的官能团而得到的二氧化硅、以及pH调节剂，条件(1)：所述官能团具有氨基；条件(2)：所述官能团具有卤素基团。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||