发明名称 |
一种真空镀膜机系统及其操作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种真空镀膜机系统及其操作方法,包括抽气系统、镀膜电源、控制部分和真空室体,所述镀膜电源和抽气系统均与真空室体相连接,控制部分和抽气系统均与镀膜电源相连接,且抽气系统、镀膜电源和真空室体均受控制部分的控制,其操作方法包括5个步骤,(1)开机预热;(2)自动抽气;(3)自动镀膜;(4)自动放气;(5)自动关机;方便增加可编辑工艺,可进行全自动运行,进行各项流程的单独或多项,可调换操作智能操作,智能保护与维护检测,提高产品质量,节约人工成本,增加工作效率,提供系统报警异常,可及时修复与维护可多种工艺编辑储存及修改,可单独操做或自动操作。 |
申请公布号 |
CN105543790A |
申请公布日期 |
2016.05.04 |
申请号 |
CN201610085944.2 |
申请日期 |
2016.02.15 |
申请人 |
佛山市佛欣真空技术有限公司 |
发明人 |
武文全 |
分类号 |
C23C14/34(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
代理机构 |
马鞍山市金桥专利代理有限公司 34111 |
代理人 |
杨涛 |
主权项 |
一种真空镀膜机系统,包括抽气系统、镀膜电源、控制部分和真空室体,其特征在于,所述镀膜电源和抽气系统均与真空室体相连接,控制部分和抽气系统均与镀膜电源相连接,且抽气系统、镀膜电源和真空室体均受控制部分的控制,控制部分包括控制系统、存储器、控制面板,且控制系统与控制面板相连接且控制面板与存储器相连接,抽气系统包括扩散泵、维持泵、罗茨泵、第一粗抽泵和第二粗抽泵,真空室体与扩散泵相连接,真空室体与扩散泵的连接处设有放气阀,扩散泵的顶部设有精抽阀,扩散泵的顶部与罗茨泵相连接,扩散泵与罗茨泵的连接处设有粗抽阀,扩散泵的底部与维持泵相连接,维持泵上部设有维持阀,且罗茨泵与维持泵相连接,罗茨泵与维持泵的连接处设有前置阀,罗兹泵分别与第一粗抽泵和第二粗抽泵相连接。 |
地址 |
528200 广东省佛山市南海区狮山镇罗村联和丰岗工业区一路2号之一 |