一种高温绝压传感器

摘要

本发明公开了一种高温绝压传感器，包括机壳和基板，所述的机壳与基板之间形成一个真空腔，真空腔内安装有由传感器壳和传感器敏感膜片组成的传感器，基板上开设有与传感器敏感膜片连通的压力通道，传感器连接有由机壳引出的传导连接物；制造上述高温绝压传感器的方法，选取由金属薄膜压阻式传感器为基本元器件；将传感器焊接在基板上，基板上的压力通道对准传感器上的传感器敏感膜片；在机壳上装配好镀金引腿和玻璃密封环；在真空条件下，将镀金引腿通过金属丝焊接到传感器的接线端子上或通过弹簧接触片连接到传感器的接线端子上，将机壳焊接到基板上；有益效果：使用方便，传感器在真空条件下工作，适宜于在感温环境的工作，稳定好。

主权项

一种高温绝压传感器，包括机壳(2)和基板(1)，其特征在于：所述的机壳(2)与基板(1)之间形成一个真空腔(11)，真空腔(11)内安装有由传感器壳(5)和传感器敏感膜片(6)组成的传感器，基板(1)上开设有与传感器敏感膜片(6)连通的压力通道(12)，传感器连接有由机壳(2)引出的传导连接物。